Компенсация систематической погрешности измерения температуры поверхности зоны плавки

Обоснован новый метод компенсации систематической погрешности измерения температуры поверхности
зоны плавки, обусловленной отраженным излучением

НФОРМАЦІЙНА ТЕХНОЛОГІЯ КОНТРОЛЮ ПЕРЕГРІВУ РІДКОЇ ФАЗИ У ПРОЦЕСІ ЗОННОЇ ПЛАВКИ КРЕМНІЮ

Обґрунтована інформаційна технологія контролю та представлені експериментальні результати
щодо перевищення температури поверхні рідкої фази над температурою плавлення кремнію.
Представлені експериментальні графіки розподілу яскравості вздовж вертикальної осі кристалу
на поверхні рідкої фази у сукупності послідовних виборок та побудовані відповідно до них графіки
розподілу температури. Обґрунтовано аналітичний вираз для оцінки максимально можливого
перегріву поверхні рідкої фази кремнію в ході плавки та отримане значення T=60 К, яке можна
використати як верхню оцінку температури перегріву.